硅片籃子（CASSETTE）清洗設(shè)備
本設(shè)備是將搬送硅片的籃子(CASSETTE)以純水高壓清洗→Spin切液干燥的自動(dòng)清洗設(shè)備。配合籃子(CASSETTE)設(shè)計(jì)·制作。
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產(chǎn)品描述
1.被處理物：4寸用籃子(CASSETTE)~8寸用籃子(CASSETTE)
2.處理數(shù)量：16籃(CASSETTE)~24籃(CASSETTE) (可以追加處理)
3.處理速度：4min
4.清洗液：純水+藥液
1.被處理物：4寸用籃子(CASSETTE)~8寸用籃子(CASSETTE)
2.處理數(shù)量：16籃(CASSETTE)~24籃(CASSETTE) (可以追加處理)
3.處理速度：4min
4.清洗液：純水+藥液
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