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電子級(jí)氫氟酸被廣泛應(yīng)用于光伏行業(yè)、液晶行業(yè)、集成電路芯片等半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)原料及產(chǎn)品的清洗和腐蝕，是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前，在國(guó)內(nèi)基本上是作
為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè)。正因?yàn)殡娮蛹?jí)氫氟酸有著如此廣泛的應(yīng)用，市場(chǎng)上高品質(zhì)的氫氣酸需求量一直很大。南京德源環(huán)?？萍及l(fā)展有限公司為此專門開發(fā)出成套電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)裝置，依托南京正源集團(tuán)強(qiáng)大的防腐蝕設(shè)備研發(fā)和制造能力，裝置中的主要核心設(shè)備、管道、泵、閥均為自行設(shè)計(jì)制造。

該裝置可將液體無水氫氟酸經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，進(jìn)入精餾塔通過精餾操作，得到純化的氟化氫氣體，在吸收塔中用超純水吸收，隨后經(jīng)0.2um以下超濾工序，最后在密閉潔凈環(huán)境條件下進(jìn)行灌裝得到最終產(chǎn)品--電子級(jí)氫氟酸。
該裝置可生產(chǎn)各類質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的電子級(jí)氫氟酸，包括GRMOS、EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標(biāo)，生產(chǎn)能力從2000t/a~40000t/a不等。目前已經(jīng)有數(shù)十套裝置在客戶工內(nèi)穩(wěn)定的運(yùn)行。
以下為一種典型的電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)工藝示意圖：

工藝簡(jiǎn)述：

液體氟化氫經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，通過加熱器進(jìn)入精餾塔，通過精餾操作后得到純化的氟化氫氣體，純化的氟化氫氣體進(jìn)入吸收塔，用超純水進(jìn)行吸收后進(jìn)入循環(huán)槽，經(jīng)過冷卻后部分進(jìn)入吸收塔進(jìn)行噴淋循環(huán)吸收，部分用超濾過濾，最終再密閉潔凈環(huán)境條件下進(jìn)行灌裝得到電子級(jí)氫氟酸。

其它電子級(jí)化學(xué)品裝置：
我公司還可提供試劑級(jí)硫酸、電子級(jí)硫酸、氨水、硝酸、雙氧水等成套電子化學(xué)品裝置。