參數(shù)描述
主要規(guī)格：
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：單片式清洗
3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)
4、設備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，對接天車上下料
6、搬送方式：真空吸盤機械手
優(yōu)勢：
1、處理腔室獨立，無交叉污染風險。
2、高精度配液與濃度檢測，化學品可回收循環(huán)利用。
3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。
4、可配置毛刷機構(gòu)實現(xiàn)正反面刷洗。
主要規(guī)格：
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：單片式清洗
3、處理速度：200-300片/h (根據(jù)recipe及處理腔配置變化)
4、設備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，對接天車上下料
6、搬送方式：真空吸盤機械手
優(yōu)勢：
1、處理腔室獨立，無交叉污染風險。
2、高精度配液與濃度檢測，化學品可回收循環(huán)利用。
3、配置高壓噴淋和兆聲波輔助技術(shù)，減少表面缺陷40%，提升良率3%-5%。
4、可配置毛刷機構(gòu)實現(xiàn)正反面刷洗。
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