原料液氨進入蒸發(fā)器中蒸發(fā)，氨氣進氣液分離器除霧分離后在吸附塔中用吸附劑吸附去除雜質(zhì)，再經(jīng)過精密過濾后輸送至洗滌塔。經(jīng)純化后的氨氣自洗滌塔下部進入，自下而上和洗滌母液充分接觸洗滌，然后進入吸附塔。高純氨氣自吸收塔下部進入，和吸收母液充分接觸吸收，塔頂按適當比例加入超純水，吸收放出的熱量由冷卻器帶走，達到所需濃度后采出氨水至成品罐，經(jīng)過濾后裝車。
電子級氨水主要用于電子行業(yè)的清洗，以及其下游化合物的合成。雖然電子級氨水與電子級雙氧水、氫氟酸、硫酸、硝酸等濕電子化學品相比，它的需求比例相對較小，但具有不可或缺性。晶圓制造規(guī)格要求高，細微雜質(zhì)即可導致失敗，因此與普通氨水相比，電子級氨水技術壁壘高，且品質(zhì)要求隨著電子產(chǎn)品功能集成度的提升還在不斷提高。
我公司主要采用蒸發(fā)、除水、吸附、多級洗滌、分離、吸收、超凈過濾等工藝技術，值得所需濃度的超凈高純氨水。
該裝置可生產(chǎn)各類質(zhì)量標準的電子級氨水，包括EL、UP、UPS、UPSS等質(zhì)量指標。
以下是一種典型的電子級氨水生產(chǎn)工藝：
電子級氨水主要用于電子行業(yè)的清洗，以及其下游化合物的合成。雖然電子級氨水與電子級雙氧水、氫氟酸、硫酸、硝酸等濕電子化學品相比，它的需求比例相對較小，但具有不可或缺性。晶圓制造規(guī)格要求高，細微雜質(zhì)即可導致失敗，因此與普通氨水相比，電子級氨水技術壁壘高，且品質(zhì)要求隨著電子產(chǎn)品功能集成度的提升還在不斷提高。
我公司主要采用蒸發(fā)、除水、吸附、多級洗滌、分離、吸收、超凈過濾等工藝技術，值得所需濃度的超凈高純氨水。
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