1.石英管清洗設備
石英清洗機是可將石英Jig類用藥液(HF、HNO3)以及純水清洗的Draft設備。本清洗機共設3個清洗槽,使用者可從淋浴清洗,浸漬清洗以及純水清洗選擇。設備下部設有藥液調制槽,可由自動控制進行藥液調劑到供給,廢液等。
2.石英管保管庫
用Class 1保管石英管和其Jig類。
1.石英管清洗設備
被清洗物:石英JIG
清洗方法:淋浴清洗,浸漬清洗以及純水清洗
清洗藥液:HF、HNO?
動作:淋浴清洗;藥液清洗純水RinseAir Blow 干燥的自動清洗,浸漬
清洗:藥液供給藥液循環(huán)廢液的自動循環(huán)清洗
尺寸:4900W × 1700D × 2630H
2.石英管保管庫
功能:可在 Class 1 保管(Side Flow)
實用程序:N2純度5N7~8kg/cm²
FFU:使用弊公司制FFU20(m³/min)
1.石英管清洗設備
被清洗物:石英JIG
清洗方法:淋浴清洗,浸漬清洗以及純水清洗
清洗藥液:HF、HNO?
動作:淋浴清洗;藥液清洗純水RinseAir Blow 干燥的自動清洗,浸漬
清洗:藥液供給藥液循環(huán)廢液的自動循環(huán)清洗
尺寸:4900W × 1700D × 2630H
2.石英管保管庫
功能:可在 Class 1 保管(Side Flow)
實用程序:N2純度5N7~8kg/cm²
FFU:使用弊公司制FFU20(m³/min)
石英管清洗設備外觀圖
其它(石英管清洗設備)
石英管清洗設備外觀圖
其它(石英管清洗設備)