附帶搬送機的自動籃子(CASSETTE)烘箱
本設(shè)備是將8′′硅片25片1籃子(CASSETTE)6籃 為1組,使用1臺無塵烘箱和投入口,取出口 側(cè)的搬送機器(Robot),可一次性處理1組 的附帶搬送機的自動籃子(CASSETTE)無塵烘箱。
025-57255189
產(chǎn)品描述
1.處理硅片：裝有8′′石英硅片25片的籃子(CASSETTE)×6
2.搬運方式：自動/手動
3.無塵烘箱內(nèi)溫度：MAX140°C
4.無塵烘箱內(nèi)清潔度：Class10 0.3μmRT
5.外形尺寸：2590(W)×1400(D)× 2400(H)
1.處理硅片：裝有8′′石英硅片25片的籃子(CASSETTE)×6
2.搬運方式：自動/手動
3.無塵烘箱內(nèi)溫度：MAX140°C
4.無塵烘箱內(nèi)清潔度：Class10 0.3μmRT
5.外形尺寸：2590(W)×1400(D)× 2400(H)
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