本設(shè)備是將Mask玻璃收納至獨(dú)創(chuàng)的籃子(Cassette)上,經(jīng)過SPM和中性洗劑+US清洗,溫水吊起進(jìn)行干燥。
1.輸送方向:左left→右light
2.處理速度:裝盒1套(大2張/小4張)
指揮棒:約20min
3.passline:400mm(LD.ULD)
4.工程:
5.基板Mask:min 9”×9”~ max 24”×24”
6.本體尺寸(材質(zhì)):PVC卷(象牙色)...8000w × 2350d × 2600h (2900H) 架臺(tái)...sus304產(chǎn)
7.控制:recipe...30 recipe :TP...tft collar :PLC...三菱制造
1.輸送方向:左left→右light
2.處理速度:裝盒1套(大2張/小4張)
指揮棒:約20min
3.passline:400mm(LD.ULD)
4.工程:
5.基板Mask:min 9”×9”~ max 24”×24”
6.本體尺寸(材質(zhì)):PVC卷(象牙色)...8000w × 2350d × 2600h (2900H) 架臺(tái)...sus304產(chǎn)
7.控制:recipe...30 recipe :TP...tft collar :PLC...三菱制造