本設(shè)備應(yīng)用于Final polish后的化學(xué)研磨工程的清洗。
推薦配置：LD+O3水+SC-1+RINSE+SC-2+HOTDI+IR干燥+ULD
主要規(guī)格
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：由CASSETTE LESS的Dip處理
3、處理速度：600片/h(根據(jù)recipe配置變化)
4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3 ）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，手動上下料
6、搬送方式：前置夾爪式機(jī)械手
優(yōu)勢
1、清洗能力達(dá)到國際先進(jìn)水平。
2、獨(dú)創(chuàng)的溫水慢提拉+IR干燥技術(shù)，無IPA使用，長期成本和風(fēng)險(xiǎn)大幅降低。
3、插片式的傳送方式區(qū)別于傳統(tǒng)，藥液使用量減少30%，設(shè)備寬度減少10%。
4、穩(wěn)定的機(jī)械傳輸機(jī)構(gòu)，無破片風(fēng)險(xiǎn)。
5、專利技術(shù)，清洗時(shí)單次旋轉(zhuǎn)30度，相較行業(yè)傳統(tǒng)的10度旋轉(zhuǎn)提升200%，清洗效率提升約10%。
主要規(guī)格
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：由CASSETTE LESS的Dip處理
3、處理速度：600片/h(根據(jù)recipe配置變化)
4、設(shè)備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3 ）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，手動上下料
6、搬送方式：前置夾爪式機(jī)械手
優(yōu)勢
1、清洗能力達(dá)到國際先進(jìn)水平。
2、獨(dú)創(chuàng)的溫水慢提拉+IR干燥技術(shù)，無IPA使用，長期成本和風(fēng)險(xiǎn)大幅降低。
3、插片式的傳送方式區(qū)別于傳統(tǒng)，藥液使用量減少30%，設(shè)備寬度減少10%。
4、穩(wěn)定的機(jī)械傳輸機(jī)構(gòu)，無破片風(fēng)險(xiǎn)。
5、專利技術(shù)，清洗時(shí)單次旋轉(zhuǎn)30度，相較行業(yè)傳統(tǒng)的10度旋轉(zhuǎn)提升200%，清洗效率提升約10%。
電話：025-57255189/13376073907
采購：025-57258357/18951032006
郵箱：chen1101982@163.com
地址：江蘇南京市溧水區(qū)白馬鎮(zhèn)工業(yè)園